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微机电系统简介,微机电系统压力传感器

微电子机械系统,或MEMS,是技术在最常见的形式,可以定义为微型机械和机电元件(即设备和结构)使用微加工技术。

MEMS器件的类型可以从不具有移动元件的相对简单的结构变化,该机电系统在集成微电子的控制下具有多个移动元件非常复杂。MEMS的主要标准之一是至少有一些元件具有某种机械功能或元件是否可以移动。

在最常见的形式中,MEMS由机械微结构、微传感器、微致动器和微电子学组成,所有这些都集成在同一个硅芯片上。

MEMS的工作:

MEMS系统概述如下:

将传统的互补金属氧化物半导体(CMOS)与预晶片相结合,研制了微机电系统(MEMS)CMOS.或post-CMOS MST。

MEMS是用薄膜制成的,沉积在像CMOS这样的晶片上。

MEMS压力传感器工作原理:

存在散装微加工压阻式压力传感器的示例。电阻器可以在膜上扩散或沉积在具有中间隔离层的膜上(通常是SiO 2)。来自晶片后面的蚀刻膜通常具有几十微米厚度。基于时间的蚀刻具有几个优点,膜不需要硼掺杂。然而,生产低膜厚度的能力。通过涉及硼的蚀刻提供了对控制膜厚度的良好控制,然而,高掺杂水平禁止使用量表菌株的扩散。

因此电化学腐蚀通常采用较轻的掺杂膜。因为薄膜在晶圆背面的蚀刻是很可能与标准的IC制造工艺。

MEMS器件应用:

  • 汽车:在汽车中,使用几种类型的压力传感器,具有相同的工作原理,其用于监测压力。
  • 医疗:需要技术来制造用于医疗目的的压力传感器,这需要制造低压精度设备的专业知识。
  • 行业:在技术行业中,使用的开关,晴雨表压力传感器和智能道路
  • 军事:在军事活动中,使用的技术是GPS、陀螺仪、加速度计、微型推进系统

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